Os motores harmônicos tornaram-se componentes indispensáveis nos equipamentos de semicondutores

Os acionamentos harmônicos são amplamente utilizados na indústria de semicondutores, com sua alta precisão, baixa reação, design compacto e alta confiabilidade,Os motores harmônicos tornaram-se componentes indispensáveis nos equipamentos de semicondutoresDesde a transferência de wafers e fotolitografia até a gravação, embalagem e inspeção, os motores harmônicos fornecem um controle preciso do movimento.Melhoria da eficiência da produção e garantia da qualidade dos produtos na fabricação de semicondutores.

Equipamento de transferência de wafer

Na fabricação de semicondutores, os equipamentos de transferência de wafer requerem um controlo de movimento muito preciso e estável.são amplamente utilizados em robôs de transferência e manuseio de waferEstes robôs devem transferir as placas de forma eficiente e precisa em espaços confinados, e os motores harmônicos proporcionam um movimento suave e livre de vibrações.

Máquinas de fotolitografia

As máquinas de fotolitografia são equipamentos críticos na fabricação de semicondutores, exigindo uma precisão extremamente elevada.Os motores harmônicos são amplamente utilizados em sistemas de alinhamento e plataformas de digitalização de máquinas de fotolitografiaEsta precisão garante o alinhamento e a exposição precisos dos padrões nas wafers, melhorando a qualidade e o rendimento da fabricação de chips.

Equipamento de gravação

Os equipamentos de gravação são usados para criar pequenas estruturas de circuito em superfícies de wafer, exigindo um controle extremamente preciso sobre os parâmetros do processo.Acionamentos harmônicos nestes dispositivos acionam componentes de movimento precisos para garantir controle estável e uniforme do processo de gravação, assegurando uma elevada precisão do processo.

Equipamento de inspecção e medição

Durante a produção de semicondutores, a inspecção e a medição são fundamentais para garantir a qualidade do produto.e dispositivos de ensaio de propriedades elétricasA elevada repetibilidade dos accionamentos harmónicos garante a precisão e a fiabilidade destes sistemas de inspecção.

Aplicações no ambiente de vácuo

Certos processos de semicondutores, como o revestimento e a deposição de wafers, devem ser realizados num ambiente de alto vácuo.e capacidade de operar sem lubrificação a óleoOs motores harmónicos são particularmente adequados para ambientes de vácuo, o que os torna amplamente utilizados em equipamentos de processamento de vácuo.

Equipamento de embalagem

Os equipamentos de embalagem de semicondutores, utilizados para embalar chips em suportes, exigem operações rápidas e precisas.As características de alta resposta dinâmica e baixa reação de contra-ataque dos motores harmônicos permitem um controlo preciso de movimentos mecânicos complexos nos equipamentos de embalagem, assegurando uma elevada eficiência e um elevado rendimento no processo de embalagem.

Equipamento de polimento e moagem

No processo de fabricação de wafers, o polimento e a moagem são passos cruciais.assegurar a precisão mecânica durante os processos de polimento e moagem, o que melhora a aplanura da bolacha e a qualidade da superfície.

Aplicações em linhas de produção automatizadas

Os acionamentos harmônicos também são usados em vários estágios de linhas de produção automáticas de semicondutores, incluindo braços robóticos, cintas transportadoras e equipamentos de montagem.A sua eficiência e fiabilidade aumentam os níveis de automação em toda a linha de produção, reduzindo a intervenção manual e as taxas de falhas.